| 中文摘要 |
本計畫主要工作項目為OP-FTIR連續監測、CC-FTIR管道監測管道異味檢測、管道無機酸檢測、中科台中基地周界VOC監測、架設VOCs自動採樣及連線系統、公私場所總體評鑑會議、六價鉻標準研擬及協助中科緊急空污事件處理等工作。
本計畫執行完成未達公告許可條件之公私場所進行現場巡查50家、OP-FTIR連續監測3測線、CC-FTIR管道監測及管道異味檢測20根次、管道無機酸檢測20根次、中科台中基地周界VOC監測97點次、架設VOCs自動採樣及連線系統2站次、辦理3場次公私場所總體評鑑會議、協助處理2件中科緊急空污事件，並研擬六價鉻標準排放標準，每季提報空氣污染物排放量差異說明等工作。
本計畫調查中科園區內主要為半電材枓及元件製造業、半導體製造業及其他行業製程，揮發性有機物原料使用主要丙酮、異丙醇、單甲基醚丙二醇、甲醇、乙醇、二甲苯等揮發性有機物，酸鹼原料使用硝酸、硫酸、鹽酸等，微量有害重金屬包括砷、銦、鎵等物種，依固定源資料庫中部科學園區污染物排放量VOCs為342.2公噸/年，氮氧化物排放量為45.5公噸/年，懸浮微粒排放量為30.1公噸/年；未達公告許可條件之公私場所完成普查50家次中有4家具空氣污染製程，4家污染排放量為粒狀物0.121公噸/年、氮氧化物1.105公噸/年、揮發性有機物10.334公噸/年，均已建置於固定污染源管理資訊系統。
在建置中部科學園區空氣污染物指紋資料部分，中科園區台中基地周界揮發性有機化合物監測結果以酮類、醛類以及醇類組成百分比超過50 %，其原因可能為使用大量高揮發性溶劑來進行清洗產品表面蝕刻作業等製程，且大部分揮發性有機物均以燃燒方式進行末端處理，因此當燃燒不完全時，易產生有機氧化物類（酮類、醛類以及醇類）；OP-FTIR監測第1測線測得氨氣、乙醇、一氧化二氮及六氟化硫由風向判定為友達台中廠，第2測線測得氨氣、一氧化碳、乙烯、甲醇及六氟化硫由風向判定為茂德台中廠、廣鎵三廠，第3條測線六氟化硫可能來源為茂德科技股份有限公司台中廠；煙道無機要檢測結果硝酸、氫氟酸及磷酸以友達台中廠排放濃度較高，鹽酸及硫酸以廣鎵三廠排放濃度較高；排放管道CC-FTIR及異味值監測，積體電路業主要物種為四氟化碳、砷化氫、丙二醇甲醚乙酸酯，光電業主要物種為六氟化硫、單甲基醚丙二醇、甲基四氫吡咯酮，異味值主來自酸氣、丙二醇甲醚乙酸酯及氨氣等。
辦理相關事項部分包括於100年8月22及23日辦理3場次總體評鑑會議，評鑑結論要求業者依委員意見提出相關改善方案，3場次評鑑工作成效為揮發性有機物總削減量為6.917公噸/年；另有關六價鉻排放標準研擬工作，本計畫參考風險評估結果、國外所訂定之標準、既存污染源之影響、檢測方法之偵測極限以及辦理4場會議相關單位提供之意見，最後研擬標準為建議周界標準為5.0 ng/m3，管道標準為500 ng/Nm3。
為提升本計畫執行人員的專業性，共辦理9次教育訓練，皆選擇與計畫執行相關之主題並邀請專家學者針對法規、SIP查核重點、FTIR檢測及實例進行說明，對計畫人員執行計畫有所助益。
|